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期刊文章 MEMS三维静动态测试系统
出处:光电子.激光 2005年第5期 570-574,共5页
摘要:采用集成频闪成像、计算机微视觉和显微干涉技术,研制了微机电系统(MEMS)三维静动态测试系统.系统可进行MEM... 显示全部
关键词: 动态测试系统 微机电系统 三维 模板匹配算法 微压力传感器 运动测量 去包裹算法 测量分辨率 干涉技术 刚体运动 表面形貌 样条插值 面内位移 匹配精度 相移干涉 微陀螺仪 计算机 长相关 亚像素 可靠性 适用性 视觉
期刊文章 单模光纤相移DSPI测量二维面内位移的方法
出处:光子学报 1996年第12期 1115-1119,共5页
摘要:本文提出了将相移技术应用于2-D面内位移场的分离,用单模光纤相移数字散斑干涉计量技术快速,定量地同... 显示全部
关键词: 单模 光纤 相移 面内位移
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