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期刊文章 用于45nm及以下集成电路工艺的高介电常数绝缘栅材料
出处:无机材料学报 2008年第4期 676,共1页
摘要:金属-氧化物-半导体结构(MOS)是目前电子器件中最重要的器件之一,现代电子技术可以说是建立在MOS器件之... 显示全部
关键词: 集成电路工艺 高介电常数 栅材料 器件 现代电子技术 电子器件 绝缘 集成电路技术
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