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期刊文章 高压低温制备硅材料的性能研究
出处:功能材料 2003年第2期 170-172,共3页
摘要:研究了用高压低温法制备的硅材料的性能.进行了不同的温度条件下制备陶瓷硅材料的实验研究,获得了最佳的制... 显示全部
关键词: 陶瓷硅材料 性能 高压 低温 制备 半导体材料
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