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期刊文章 射频放电阻抗测量用于等离子体诊断研究
出处:物理学报 2001年第12期 2403-2407,共5页
摘要:利用自行研制的传感器和测量装置,通过对射频放电电压、电流以及其相位角的精确测定,算出放电管的总阻抗,结... 显示全部
关键词: 射频放电 阻抗测量 等离子体诊断 电阻 容抗 电子密度
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