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期刊文章 引信用MEMS加速度传感器敏感元件的设计
出处:半导体技术 2006年第7期 537-541,共5页
摘要:根据引信环境信息探测的要求,设计了一种新型MEMS高g值压阻式加速度传感器敏感元件。通过ANSYS仿真对该结... 显示全部
关键词: 微机电系统 敏感元件 阻尼设计
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