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期刊文章 硅阵列通孔微细电火花加工试验研究
出处:电加工与模具 2009年第6期 9-13,共5页
摘要:硅通孔技术是MEMS封装和垂直集成传感器阵列实现电气互联的重要途径之一,采用微细电火花的方法可实现硅通... 显示全部
关键词: 阵列电极 微细电火花 单脉冲电源 硅通孔
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