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期刊文章 Cu/AI比对P型透明导电铜铝氧薄膜性能的影响
出处:半导体光电 2005年第6期 515-518,共4页
摘要:采用将反应物沉淀后涂层及高温固相反应,在石英玻璃衬底上沉积了Cu/Al原子比不同的P型透明导电铜铝氧化物... 显示全部
关键词: 铜铝氧化物 型导电 透明导电膜 沉淀法
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