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期刊文章 氧退火对SiO2/Si衬底BST薄膜特性的影响
出处:固体电子学研究与进展 2004年第3期 396-401,共6页
摘要:利用氩离子束镀膜技术和硅平面工艺在经过干氧氧化的硅衬底上制备一层钛酸锶钡薄膜,并在氧气中进行不同条件... 显示全部
关键词: 钛酸锶钡薄膜 物理特性 电学特性 介电常数 电荷存储
期刊文章 CaRuO3电极对(Ba,Sr)TiO3薄膜的介电特性的影响
出处:功能材料与器件学报 2007年第3期 266-270,共5页
摘要:在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)衬底上,用脉冲激光沉积工艺分别制备出了(110)外延取向生长的(Ba0.65Sr0.... 显示全部
关键词: 脉冲激光沉积 钛酸锶钡薄膜 异质结构 介电调谐率
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