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期刊文章 PDMS薄膜电磁微泵的原理与制作
出处:微细加工技术 2003年第2期 54-58,共5页
摘要:铁硼永磁薄片以及下部的平面线圈。与硅膜相比,这种泵膜材料使用寿命长,物理化学性质稳定,光学特性和机... 显示全部
关键词: 薄膜 电磁驱动 微泵 聚二甲基硅氧烷 钕铁硼永磁薄片
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