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期刊文章 MIC薄膜多晶硅材料的动态镍吸除技术基本机理及其应用
出处:半导体学报 2007年第10期 1574-1579,共6页
摘要:首先阐述了MIC薄膜多晶硅材料动态镍吸杂技术的基本机理和主要工艺过程,然后以多晶硅薄膜晶体管(poly-Si ... 显示全部
关键词: 金属诱导晶化多晶硅 磷硅玻璃 动态镍吸除 固溶度
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