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期刊文章 采用磁过滤阴极弧沉积技术制备含Ti类金刚石薄膜的研究
出处:核技术 2007年第12期 971-974,共4页
摘要:采用磁过滤阴极弧沉积技术以金属Ti为阴极在真空室中加入C2H2气体来制备含Ti类金刚石薄膜,研究不同的过滤... 显示全部
关键词: 磁过滤 类金刚石膜 过滤电流
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