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期刊文章 Co掺杂对Ba0.6Sr0.4Tio3薄膜介电性能的影响
出处:功能材料 2006年第10期 1557-1560,共4页
摘要:利用溶胶凝胶工艺在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上制备了Co掺杂量为0~10%(摩尔分数)的(Ba0.6Sr0.4)Ti1-xCo... 显示全部
关键词: 薄膜 溶胶 凝胶 介电特性 调谐性 品质因子
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