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期刊文章 Ti/Ti-类金刚石多层膜的制备与表征
出处:物理学报 2012年第8期 452-460,共9页
摘要:采用电子回旋共振.化学气相沉积结合中频磁控溅射的真空镀膜技术,以99.99%Ti为靶材,乙炔为碳源制备了T... 显示全部
关键词: 类金刚石多层膜 电子回旋共振 化学气相沉积 调制周期
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