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期刊文章 背向曝光表面等离子体激元干涉光刻系统中银层超透镜的优化设计
出处:光学学报 2011年第12期 230-234,共5页
摘要:利用表面等离子体激元(SPP)的局域能量增强效应可提高现有光学光刻的分辨率。背向曝光SPP干涉光刻技术可... 显示全部
关键词: 表面光学 表面等离波子激元干涉光刻 背向曝光 银层超透镜
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