聚类工具

0
帮助 本站公告
您现在所在的位置:网站首页 > 知识中心 > 检索结果
排序:
期刊文章 背向曝光表面等离子体激元干涉光刻系统中银层超透镜的优化设计
出处:光学学报 2011年第12期 230-234,共5页
摘要:利用表面等离子体激元(SPP)的局域能量增强效应可提高现有光学光刻的分辨率。背向曝光SPP干涉光刻技术可... 显示全部
关键词: 表面光学 表面等离波子激元干涉光刻 背向曝光 银层超透镜
在线阅读 下载全文
期刊文章 基于背向曝光的GaN基脊型LD制备工艺改进
出处:半导体光电 2012年第4期503-506,共4页
摘要:GaN基脊型激光二极管(LD)的制备工艺中,面临的一个主要困难是p电极和窄脊结构的制备受到光刻对准精度的严... 显示全部
关键词: 激光器 脊型 背向曝光 掩埋金属层
在线阅读 下载全文
找到2条结果
`