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期刊文章 将红外光弹应力实时测量系统用于实验教学
出处:实验技术与管理 2000年第3期 24-25,共2页
摘要:本文介绍一种用红外光弹测量方法,对半导体单晶片及其哭喊 件结构中的应力分布进行观察、测量分析,并就... 显示全部
关键词: 红外光弹 半导体 应力测量 实验教学
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