可检索词： （英文）题名=T 作者=A 关键词=K 摘要=R 机构=O 主题=S 刊名=M 分类号=N
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机构地区： 华南理工大学理学院应用物理系
出 处： 《实验技术与管理》 2000年第3期24-25,共2页
摘 要： 本文介绍一种用红外光弹测量方法，对半导体单晶片及其哭喊 件结构中的应力分布进行观察、测量分析，并就其在教学炽的应用作一简介。
关 键 词： 红外光弹 半导体 应力测量 实验教学
领 域： [理学] [理学] [电子电信]
