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期刊文章 H掺杂对ZnCoO稀磁半导体薄膜结构及磁性能的影响
出处:发光学报 2012年第4期 417-421,共5页
摘要:利用磁控溅射法,采用亚分子分层掺杂技术交替溅射Co靶和ZnO靶,在si衬底上制备了不同氢氩流量比的H:ZCO薄... 显示全部
关键词: 磁控溅射法 稀磁半导体 掺杂 金属团簇
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期刊文章 掺碳氧化铟薄膜的铁磁性研究
出处:电子元件与材料 2012年第2期 33-35,39,共4页
摘要:采用磁控溅射法在si(100)衬底上制备了掺碳氧化铟(In2O3:C)薄膜,溅射过程分别在衬底温度为室温和550... 显示全部
关键词: 稀磁半导体 掺碳氧化铟 铁磁性 薄膜
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期刊文章 Mn+离子注入的GaN薄膜的光学性质及其磁性
出处:半导体学报 2003年第12期 1276-1279,共4页
摘要:利用离子注入法将磁性离子Mn+注入到采用金属有机化学气相沉积法制备的GaN薄膜中,获得了稀磁半导体(Ga,Mn... 显示全部
关键词: 稀磁半导体 薄膜 铁磁性 居里转变温度 离子注入 光学性质 光致发光谱
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