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期刊文章 定向离子清洗对基片表面性质的影响
出处:中国激光 2004年第12期1473-1477,共5页
摘要:为提高高功率激光薄膜的抗激光损伤能力,研究了定向离子清洗对玻璃基片表面性质的影响。用End-Hall型离子... 显示全部
关键词: 薄膜 离子清洗 离子源 粗糙度
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