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期刊文章 离子束辅助技术在高功率激光薄膜中的应用
出处:激光与光电子学进展 2004年第10期 18-21,共4页
摘要:从离子束清洗、离子束辅助沉积以及离子束后处理三个方面,介绍了离子束辅助技术在高功率激光薄膜中的应用背... 显示全部
关键词: 离子束辅助 高功率激光薄膜 离子束清洗 离子束辅助沉积 离子束后处理
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