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期刊文章 无屏蔽罩的矩形平面磁控溅射靶的设计
出处:华南理工大学学报:自然科学版 2003年第1期 38-41,共4页
摘要:通过理论分析、实际设计和实验,对矩形平面磁控溅射靶表面水平磁感应强度B的传统取值上限进行了拓展,结果... 显示全部
关键词: 屏蔽罩 矩平面磁控溅射靶 磁控溅射镀膜 磁感应强度 设计原理
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