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期刊文章 硅薄膜中的结构缺陷研究进展
出处:功能材料 2010年第A01期1-5,共5页
摘要:硅薄膜作为制备硅薄膜太阳电池的重要材料,得到了广泛研究和应用,而硅薄膜中的各种缺陷及缺陷密度则对薄膜... 显示全部
关键词: 硅薄膜 缺陷 缺陷研究方法 转换效率
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期刊文章 PECVD SiC薄膜的AES研究
出处:真空科学与技术学报 1989年第3期189-192,共4页
摘要: 本文介绍用俄歇电子能谱对等离子增强化学气相淀积非晶碳化硅薄膜进行组分的定量分析、深度剖析和元素的化... 显示全部
关键词: 硅薄膜 化学气相淀积 非晶碳 化学状态 衬底温度 光学带隙 介质薄膜 俄歇电子
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