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期刊文章 PDMS微流体系统的加工制作
出处:高分子通报 2005年第1期 108-111,共4页
摘要:目前,微流体装置越来越多地应用到分析系统、生物医学、化学等基础研究领域.传统的微流体系统制作方法是对... 显示全部
关键词: 微流体系统 生物材料 生物医学 基础研究 制作方法 分离 快速 微电子 键合 硅片
期刊文章 化学机械抛光流动性能分析
出处:润滑与密封 2004年第4期 31-33,共3页
摘要:基于连续流体理论和其运动学关系,建立了力平衡方程关系式.推导了牛顿流体在化学机械抛光过程中的润滑方程,... 显示全部
关键词: 化学机械抛光 润滑方程 压力分布 计算机硬盘 硅片 流动性能
期刊文章 偏晶向(111)硅片闪耀光栅的制作
出处:光子学报 2004年第6期 755-757,共3页
摘要:硅光栅的制作可以利用湿法腐蚀体硅工艺.湿法腐蚀利用硅的各向异性,由硅的晶面形成光栅工作凹槽,利用湿法工... 显示全部
关键词: 硅片 闪耀光栅 体硅技术 湿法腐蚀
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期刊文章 10keV X射线空间辐照总剂量试验可行性研究
出处:核电子学与探测技术 2005年第3期 291-295,共5页
摘要:传统辐照总剂量试验的辐射源均采用60Co,对环境危害较大.X射线作为辐射源具有安全、剂量率控制准确等优点,... 显示全部
关键词: 总剂量 射线 试验 辐照 空间 辐射源 环境危害 在线测试 栅氧化层 辐射机理 剂量率 硅片 封装
期刊文章 硅片精密切割多线锯研究进展
出处:金刚石与磨料磨具工程 2006年第6期 14-18,共5页
摘要:随着半导体行业的发展,尤其是太阳能电池对大直径硅片的需求不断增加,对硅片的切割精度要求越来越高.传统的... 显示全部
关键词: 硅片 精密切割 游离磨料多线锯 固着磨料多线锯
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期刊文章 硅片自旋转磨削表面粗糙度建模与分析
出处:金刚石与磨料磨具工程 2013年第6期21-25,共5页
摘要:通过对单晶硅材料不同去除机理的研究,分析了单晶硅材料磨削过程中不同去除形式所对应的磨粒去除深度。结合... 显示全部
关键词: 硅片 自旋转磨削 表面粗糙度
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期刊文章 有图形硅片显微图像微距线宽测量方法研究
出处:仪器仪表学报 2006年第9期 1138-1140,共3页
摘要:针对硅片关键尺寸高精度准确测量的要求,在整像素级标准件法二维图像微距尺寸测量的基础上,本文综合应用... 显示全部
关键词: 硅片 标准件 像素当量 空间矩 亚像素 标定
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