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期刊文章 VHF等离子体光发射谱(OES)的在线监测
出处:物理学报 2003年第9期 2324-2330,共7页
摘要:采用光发射谱(OES)测量技术,对不同制备条件下的甚高频(VHF)等离子体辉光进行了在线监测.实验表明,VHF等离... 显示全部
关键词: 甚高频等离子体辉光 光发射谱 在线监测 技术 甚高频等离子体化学气相沉积 硅基薄膜 太阳能电池
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期刊文章 氧、氮掺杂硅基薄膜的荧光光谱
出处:光谱学与光谱分析 2003年第1期 149-153,共5页
摘要:采用磁控溅射法制备了氧、氮掺杂的非晶硅膜,测量了薄膜的荧光光谱,获得了包括红光、绿光、蓝光及紫光和紫... 显示全部
关键词: 掺杂 硅基薄膜 荧光光谱 非晶硅膜 磁控溅射法
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