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期刊文章 离子束加速电压对真空电弧沉积Ti(C,N)涂层性能的影响
出处:电镀与涂饰 2005年第4期 4-6,共3页
摘要:利用等离子辅助真空电弧沉积技术分别在高速钢片和单晶硅片制备了Ti(C,N)涂层,通过X-射线衍射和扫描电镜研... 显示全部
关键词: 离子束 真空电孤沉积 涂层
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