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期刊文章 相移干涉测量理论的研究
出处:机械工艺师 1998年第9期28-29,共2页
摘要:研究了两种相位调制方法下的相移干涉测量理论,推导了相应的相位测量计算公式,计算结果表明背景光强的不... 显示全部
关键词: 相移干涉 轮廓测量 相位测量 测量
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期刊文章 MEMS三维静动态测试系统
出处:光电子.激光 2005年第5期 570-574,共5页
摘要:采用集成频闪成像、计算机微视觉和显微干涉技术,研制了微机电系统(MEMS)三维静动态测试系统.系统可进行MEM... 显示全部
关键词: 动态测试系统 微机电系统 三维 模板匹配算法 微压力传感器 运动测量 去包裹算法 测量分辨率 干涉技术 刚体运动 表面形貌 样条插值 面内位移 匹配精度 相移干涉 微陀螺仪 计算机 长相关 亚像素 可靠性 适用性 视觉
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