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期刊文章 新型复合结构电热微驱动器的研制
出处:传感器与微系统 2008年第5期 117-120,共4页
摘要:在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动... 显示全部
关键词: 聚合物 复合结构 电热微驱动器 有限元分析 非硅表面微加工
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