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期刊文章 一种合成金刚石膜的独特方法—燃烧焰法合成金刚石膜述评
出处:功能材料 1994年第2期 117-120,共4页
摘要:燃烧焰法与其他合成金刚石膜的CVD法相比,具有设备简单、投资少、膜质量高、生长速率高的特点。本文对... 显示全部
关键词: 燃烧焰法 金刚石膜 生长机理 合成
期刊文章 稀释气体Ar对金刚石薄膜沉积质量的影响
出处:人工晶体学报 1999年第4期 364-367,共4页
摘要:本文探讨了在燃烧焰法沉积金刚石薄膜过程中,稀释气体Ar对沉积质量的影响。发现在成膜过程中适当量的A... 显示全部
关键词: 燃烧焰法 金刚石薄膜 稀释气体 薄膜沉积
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