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期刊文章 气相合成金刚石薄膜的成核习性研究
出处:人工晶体学报 1999年第3期 275-278,共4页
摘要:本文采用燃烧焰法观察金刚石薄膜的成核生长过程。分析了衬底表面刻划及油污处理等因素对金刚石成核的影响... 显示全部
关键词: 化学气相沉积法 燃烧焰 金刚石薄膜 成核
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