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期刊文章 多孔硅层孔隙率对其热绝缘性能的影响
出处:材料导报 2008年第7期 114-116,共3页
摘要:研究了多孔硅层孔隙率对其热绝缘性能的影响机制。以p+型硅片为基底,通过双槽电化学腐蚀法制备多孔硅。采... 显示全部
关键词: 多孔硅 孔隙率 电化学腐蚀 显微拉曼光谱 热导系数 绝热层
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