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期刊文章 热丝化学气相沉积大面积金刚石膜温度场的模拟计算
出处:金属学报 2001年第11期 1217-1222,共6页
摘要:对热丝化学气相沉积(HFCVD)生长金刚石膜过程中影响衬底温度场的热丝几何参数及其他相关沉积参数进行了模拟... 显示全部
关键词: 热丝化学沉积 金刚石膜 温度场 模拟计算
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