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期刊文章 热丝CVD大面积金刚石薄膜的生长动力学研究
出处:新型炭材料 2005年第3期 229-234,共6页
摘要:在传统工业型热丝化学气相沉积(HFCVD)反应腔内,相关工艺参数取模拟计算优化值的条件下,采用XRD,SEM及Raman... 显示全部
关键词: 热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 动力学生长 模拟计算
期刊文章 管道热丝CVD金刚石膜反应器温度场的数值计算
出处:人工晶体学报 2002年第6期 576-582,共7页
摘要:在热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石膜的传统管道反应器中,对不同传热机制下管道壁温度场的空间分布进行了模... 显示全部
关键词: 反应器 热丝化学气相沉积 金刚石膜 管道壁温度场 模拟计算
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期刊文章 HFCVD金刚石薄膜温度场的数值研究
出处:金属学报 2002年第11期 1228-1232,共5页
摘要:热丝化学气相沉积(HFCVD)生长金刚石膜过程中,在热丝相关工艺参数取优化值的前提下,对热辐射平衡体系中衬底... 显示全部
关键词: 金刚石薄膜 温度场 数值研究 热传导 热丝化学气相沉积
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期刊文章 热丝CVD方法中气体状态参数的二维模拟计算
出处:材料研究学报 2003年第4期 345-352,共8页
摘要:使用在连续介质中建立的二维流场数学模型,模拟计算了在用HFCVD方法生长金刚石薄膜过程中影响气体温度分布... 显示全部
关键词: 材料科学基础学科 空间场 模拟计算 金刚石薄膜 热丝化学气相沉积
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