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期刊文章 熔性/亚熔性激光退火工艺过程数值分析
出处:微电子学 2015年第1期125-129,135共6页
摘要:熔性/亚熔性激光退火在IGBT类电力电子器件制造中有着重要的作用。该工艺涉及瞬间、局部、高强度的能量馈入... 显示全部
关键词: 激光退火 热场分析 杂质再扩散
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期刊文章 近红外激光退火晶化CIGS薄膜研究
出处:深圳大学学报:理工版 2013年第6期623-628,共6页
摘要:利用脉冲激光沉积法在石英基底上沉积铜铟镓硒薄膜为前驱物,采用波长1 064 nm的近红外脉冲激光在不同能量密... 显示全部
关键词: 薄膜物理 激光退火 铜铟镓硒薄膜 能量密度 结晶 压应力 表面条纹
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期刊文章 浅结激光退火的实验研究及工艺模型
出处:微电子学 2012年第6期889-892,896共5页
摘要:随着器件尺寸缩小,浅结、超浅结的制作日益成为重要的工艺模块。对于22nm及以下技术代来说,除了采用低能... 显示全部
关键词: 激光退火 工艺模型 浅结
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期刊文章 采用准分子激光退火的室温沉积ITiO薄膜的性能研究
出处:功能材料 2013年第21期3146-3148,共3页
摘要:采用室温磁控溅射的方法在玻璃衬底上沉积掺Ti氧化铟薄膜,并在真空中采用XeCl准分子激光进行退火,样品的... 显示全部
关键词: 氧化铟 室温沉积 激光退火
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