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期刊文章 磁控溅射Al膜的AFM性能分析及其制备工艺研究
出处:物理实验 2007年第8期 42-46,共5页
摘要:用原子力显微镜(AFM)对直流溅射和射频溅射制备铝膜的表面粗糙度及颗粒大小进行了分析比较.实验结果表明... 显示全部
关键词: 铝膜 表面粗糙度 溅射功率 溅射时间
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期刊文章 溅射功率对Au与CdZnTe晶体接触结构和性能的影响
出处:半导体光电 2006年第5期 569-572,共4页
摘要:采用直流磁控溅射工艺,以Au为靶材在高阻半导体CdZnTe上制备导电薄膜。系统地研究了溅射功率对沉积速率、... 显示全部
关键词: 磁控溅射 溅射功率 导电薄膜 半导体 欧姆接触
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期刊文章 溅射功率对Sb薄膜负极材料循环性能的影响
出处:电源技术 2009年第8期 652-654,共3页
摘要:采用射频磁控溅射法分别在100、200、300W和400W功率下制备了4种锂离子电池用Sb薄膜负极材料。通过X射线衍... 显示全部
关键词: 锂离子电池 负极 射频磁控溅射 溅射功率
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期刊文章 晶体AlCrTaTiNi高熵合金薄膜
出处:功能材料 2012年第3期 394-397,共4页
摘要:用多靶射频磁控溅射技术,在纯氩气氛中不同溅射功率(40~100W)下在Si(100)基底上制备晶体AlCrTaTiNi高... 显示全部
关键词: 高熵合金 晶粒尺寸 溅射功率 膜厚
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期刊文章 溅射功率对Sn薄膜负极材料循环性能的影响
出处:电源技术 2009年第7期 541-542,614,共3页
摘要:采用磁控溅射法分别在150、250、400W功率下制备了3种锂离子电池用Sn薄膜负极材料。通过X射线衍射光谱法(... 显示全部
关键词: 锂离子电池 负极 磁控溅射 锡薄膜 溅射功率
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