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期刊文章 100型MEVVA源注入机注入均匀性研究
出处:真空 2007年第1期29-31,共3页
摘要:提高金属蒸汽真空弧(Metal Vapor Vacuum Are,MEVVA)离子源注入机的注入效率,大幅度降低注入成本是MEVV... 显示全部
关键词: 金属蒸汽真空弧 离子注入 定位 定位 注入均匀性
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