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期刊文章 深沟槽型超级结耐压提升优化报告
出处:集成电路应用 2017年第9期43-46,共4页
摘要:根据深沟槽型超级结器件的耐压原理和沟槽刻蚀填充的工艺特征,可以通过对填充工艺的调整来提升产品的耐压能... 显示全部
关键词: 功率器件 超级结 沟槽填充
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