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期刊文章 沉积气压对电弧离子镀制备MgO薄膜的结构及性能的影响
出处:功能材料 2011年第7期1316-1319,共4页
摘要:采用阴极真空电弧离子沉积技术在玻璃及Si衬底上成功地制备了具有择优结晶取向的透明MgO薄膜。利用X射线衍... 显示全部
关键词: 阴极真空电弧离子沉积 沉积气压 薄膜 等离子体显示板
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期刊文章 拉曼光谱和红外光谱分析沉积气压对微晶硅薄膜微结构的影响
出处:光谱实验室 2012年第2期 1188-1191,共4页
摘要:采用射频等离子体增强化学气相沉积法(RF-PECVD),在玻璃和硅衬底上以230—310Pa之间的沉积气压生长微晶硅... 显示全部
关键词: 微晶硅薄膜 沉积气压 拉曼光谱 傅里叶变换红外透射谱
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