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期刊文章 水辅助准分子激光微加工硅的实验研究
出处:激光技术 2006年第6期 567-569,共3页
摘要:为了研究脉冲激光在不同介质中的刻蚀特性,采用20ns短脉冲、248nm准分子激光(能量为150mJ-250mJ)分别在... 显示全部
关键词: 激光技术 水辅助微加工 准分子激光 刻蚀
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