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期刊文章 退火对CNx薄膜光学性质的影响
出处:红外与毫米波学报 2003年第3期 213-216,共4页
摘要:报道了退火对电子回旋共振(ECR)辅助脉冲激光溅射方法制备的CNx薄膜样品光学性质的影响.X射线衍射(XRD)结果... 显示全部
关键词: 椭偏光谱 电子回旋共振 反常色散 拉曼散射 退火处理 射线衍射 氮碳薄膜 洛伦兹色散理论
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