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期刊文章 微波等离子体低温制备氮杂二氧化钒薄膜
出处:功能材料 2007年第5期 743-745,749,共4页
摘要:选用V2O5为前驱物,通过在玻璃片上镀膜,采用微波等离子体增强法,在低温条件下,成功制备了氮杂二氧化钒薄膜... 显示全部
关键词: 微波等离子体 氮杂二氧化钒 相变温度
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