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期刊文章 铝基离子镀氮化物膜的研究
出处:金属热处理 1998年第10期 14-17,共4页
摘要:探讨了在铝及铝合金基体上离子镀TiN薄膜的可行性,研究了各工艺因素和掺入微量Cr,Fe对TiN膜质... 显示全部
关键词: 离子镀 铝基体 氮化钛薄膜 铝合金
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期刊文章 溅射气压对TiN薄膜的制备工艺及光学性能的影响
出处:中国材料科技与设备 2011年第6期 40-42,共3页
摘要:采用直流反应磁控溅射法,在Si(111)基底上制备氮化钛(TiNx)薄膜。研究了溅射沉积过程中腔体气压对TiNx... 显示全部
关键词: 氮化钛薄膜 磁控溅射 溅射气压 反射率
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期刊文章 直流反应磁控溅射法制备氮化钛薄膜
出处:中国材料科技与设备 2009年第3期 60-61,共2页
摘要:研究了采用直流反应磁控溅射法制备TiN薄膜的工艺条件。研究发现:在保持其它工艺参数不变的条件下,溅射的... 显示全部
关键词: 氮化钛薄膜 磁控溅射 基底温度 反射率
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期刊文章 基底材料对沉积氮化钛薄膜及其性能的影响
出处:中国材料科技与设备 2014年第1期10-12,共3页
摘要:研究了利用直流反应磁控溅射法,以Si—P(111)和Si—P(100)两种不同Si片做基底,对制备TiNx薄膜性能的... 显示全部
关键词: 基底材料 氮化钛薄膜 薄膜性能 沉积 直流反应磁控溅射法 薄膜质量 衍射峰
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