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期刊文章 蓝宝石衬底的ECR等离子体清洗与氮化的RHEED研究
出处:半导体学报 2003年第6期 668-672,共5页
摘要:通过分析RHEED(反射高能电子衍射)图像研究了ECR(电子回旋共振)等离子体所产生的活性氢源和氮源对蓝宝石衬... 显示全部
关键词: 蓝宝石 清洗 氮化
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期刊文章 额外HCl和氮化对HVPE GaN生长的影响
出处:半导体学报 2003年第11期 1171-1175,共5页
摘要:在氢化物气相外延(HVPE)生长GaN过程中,发现了一种在成核阶段向生长区添加额外HCl来改善GaN外延薄膜质量的... 显示全部
关键词: 氢化物气相外延 氮化 额外
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期刊文章 磁性介孔炭合成及其氨化改性
出处:广东化工 2014年第1期29-30,共2页
摘要:以糠醇为炭源,Fe(NO3)2·9H2O为磁性前躯体,SiO2微球为模板采用一步浸渍法合成了磁性介孔炭,并用化学方法... 显示全部
关键词: 磁性介孔炭 氮化 表征
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