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期刊文章 InN薄膜的氧化特性研究
出处:物理学报 2007年第2期 1032-1035,共4页
摘要:研究了InN薄膜在不同氧气氛中的氧化特性.研究表明,在400℃以下,InN薄膜很难被氧化,而金属In程容易被氧... 显示全部
关键词: 氧化铟 氧化 射线衍射
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期刊文章 氧化铟的利备及制备条件对其结构与性质的影响
出处:广东化工 2003年第2期 15-18,共4页
摘要:介绍了六种氧化铟的制备方法,其中以铟的气相沉积法和直流磁控溅射法制备氧化铟具有较大的优势,这两种方法... 显示全部
关键词: 氧化铟 制备 制备条件 结构 性质 影响
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期刊文章 采用准分子激光退火的室温沉积ITiO薄膜的性能研究
出处:功能材料 2013年第21期3146-3148,共3页
摘要:采用室温磁控溅射的方法在玻璃衬底上沉积掺Ti氧化铟薄膜,并在真空中采用XeCl准分子激光进行退火,样品的... 显示全部
关键词: 氧化铟 室温沉积 激光退火
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