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期刊文章 制备工艺对氧化钒薄膜微观结构的影响
出处:电子元件与材料 2004年第6期 35-37,共3页
摘要:为了研究制备工艺对氧化钒薄膜微观结构的影响,采用X射线衍射和扫描电镜,对用sol-gel法制作的、不同热处理... 显示全部
关键词: 有机 氧化钒薄膜 微观结构 制备工艺
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