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期刊文章 气体介质对电弧离子镀沉积类金刚石膜的影响
出处:人工晶体学报 2003年第6期 613-617,共5页
摘要:采用电弧离子镀方法,在Si(100)基底上分别在高纯Ar、高纯H2和C2H2的气氛下沉积类金刚石膜,利用激光Raman谱... 显示全部
关键词: 类金刚石膜 电弧离子镀 气体介质 微观结构 力学性能
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