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期刊文章 背面敏感SFSR传感器的研究
出处:华南理工大学学报:自然科学版 1995年第12期 31-37,共7页
摘要:针对”传感器中毒“现象,在正面敏感的扩展电阻硅流量传感器的基础上,提出背面敏感的SRSF传感器,并... 显示全部
关键词: 扩展电阻 流量传感器 正面敏感 传感器
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