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期刊文章 真空设备的检漏
出处:通用机械 2006年第10期 52-54,共3页
摘要:介绍了真空检漏的常用方式,并着重介绍了氦质谱检漏的发展方向、灵敏度分析及应用以及检漏方法,并总结了... 显示全部
关键词: 真空 泄漏率 检漏仪 检漏
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