可检索词： （英文）题名=T 作者=A 关键词=K 摘要=R 机构=O 主题=S 刊名=M 分类号=N
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机构地区： 合肥通用机械研究院
出 处： 《通用机械》 2006年第10期52-54,共3页
摘 要： 介绍了真空检漏的常用方式,并着重介绍了氦质谱检漏的发展方向、灵敏度分析及应用以及检漏方法,并总结了真空检漏的意义。
关 键 词： 真空 泄漏率 检漏仪 检漏
领 域： [一般工业技术]
