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期刊文章 林尼克结构干涉测量系统误差分析
出处:功能材料与器件学报 2008年第1期 143-147,共5页
摘要:在应用林尼克结构干涉测量系统进行测量时,发现系统存在一个近似为二次曲面的测量误差。根据光学干涉系统的... 显示全部
关键词: 林尼克结构干涉测量系统 系统测量误差 焦点轴向误差 相移器误差 摄像机误差
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