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期刊文章 极坐标激光直写系统光轴和转轴对准的光栅反射对准法
出处:光学仪器 2004年第1期 15-18,共4页
摘要:提出一种光栅反射对准法:在极坐标激光直写系统中利用光栅反射聚焦光斑来校准光轴和工件台的转动轴;被光栅... 显示全部
关键词: 光栅反射对准法 极坐标激光直写系统 光轴 工件台 对准 转轴
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